Argon

Argon, Ar, jest bezbarwnym i niepalnym gazem wysokociśnieniowym. Działa on jako prosty gaz duszący poprzez wypieranie powietrza.

Zastosowania

Argon jest używany w przemyśle półprzewodnikowym:

• jako gaz nośny/do oczyszczania
• jako gaz tłumiący do wykluczenia powietrza z niektórych procesów produkcyjnych, zwłaszcza wzrostu kryształów
• do wzbogacania jonów oraz w innych procesach związanych z trawieniem
• do implantacji jonów
• do rozpylania jonowego
• do utleniania bramkowego gazu do wyżarzania.

Kompatybilność materiałowa

Metale: Mosiądz; stal nierdzewna; stal węglowa; aluminium; cynk; miedź; monel.

Plastiki: Kel-F; żywice PTFE (politetrafluoroetylenowe), FEP (fluorowane etylenowo-propylenowe) i PFA (perfluoroalkoksylowe); Tefzel; PVDF (polifluorek winylidenu); polichlorek winylu; Kalrez.

Elastomery: Viton; kauczuk butadienowo-akrylonitrylowy; neopren; poliuretan.

Właściwości techniczne

Masa cząsteczkowa: 39,95

Ciężar właściwy (powietrze = 1): 1,4

Zapach: Brak

Nr rejestrowy CAS: 7440-37-1